80% de peso
1. Mantenimiento de objetivos
Para evitar cortocircuitos y arcos eléctricos causados por cavidades sucias durante el proceso de pulverización catódica, es necesario eliminar periódicamente el material pulverizado acumulado en el medio y en ambos lados de la pista de pulverización catódica. Esto también ayuda a los usuarios a operar continuamente con alta densidad de potencia. Realice la pulverización catódica.
2. Almacenamiento de destino
Recomendamos a los usuarios almacenar los objetivos (ya sean metálicos o cerámicos) en envases al vacío. En particular, los objetivos de laminación deben almacenarse en condiciones de vacío para evitar que la oxidación de la capa de laminación afecte la calidad de la laminación. En cuanto al embalaje de los objetivos metálicos, recomendamos que se empaqueten al menos en bolsas de plástico limpias.
Proveedor de objetivos para pulverización catódica de tungsteno al 80 %
3. Limpieza de objetivos
El primer paso es limpiar con un paño suave y sin pelusa humedecido en acetona;
El segundo paso es similar al primero, use alcohol para limpiar;
El tercer paso es limpiar con agua desionizada. Después de limpiar con agua desionizada, el objetivo se colocó en un horno para secarlo a 100 grados Celsius durante 30 minutos. Se recomienda utilizar un "paño sin pelusa" para limpiar objetivos de óxido y cerámica.
El cuarto paso es limpiar el objetivo con gas argón a alta presión y baja humedad para eliminar cualquier partícula impura que pueda causar arcos eléctricos en el sistema de pulverización catódica.
4. Inspección de cortocircuito y sellado.
Una vez instalado el objetivo, es necesario inspeccionar todo el cátodo para detectar cortocircuitos y sellado. Se recomienda utilizar un medidor de resistencia para determinar si hay un cortocircuito en el cátodo. Después de confirmar que no hay cortocircuito en el cátodo, puede realizar una verificación de fugas de agua y pasar agua al cátodo para determinar si hay fugas de agua.
Fabricación de objetivos de pulverización catódica de tungsteno al 80 %
5. Embalaje y transporte
Todos los objetivos se envasan en bolsas de plástico selladas al vacío con un agente a prueba de humedad. El embalaje exterior generalmente es una caja de madera con una capa anticolisión alrededor para proteger el objetivo y la placa de soporte de daños durante el transporte y el almacenamiento.
