Objetivo de pulverización catódica de tungsteno factpry
Método de fabricación de objetivos
1. Método de fundición
El método de fundición consiste en fundir materias primas de aleación con una determinada proporción de composición y luego verter la solución de aleación fundida en un molde para formar un lingote, que luego se mecaniza para formar un objetivo. Los métodos de fundición generalmente requieren la fusión y la fundición al vacío. Los métodos de fundición comunes incluyen: fusión por inducción al vacío, fusión por arco al vacío y fusión por bombardeo de electrones al vacío. Sus ventajas son que el material del objetivo producido tiene un bajo contenido de impurezas, alta densidad y se puede utilizar en objetivos a gran escala. Producción química; la desventaja es que si se funden dos o más metales con grandes diferencias en el punto de fusión y la densidad, es difícil hacer un objetivo de aleación con una composición uniforme mediante métodos de fundición convencionales.
2. Método de pulvimetalurgia
El método de pulvimetalurgia consiste en fundir materias primas de aleación con una determinada proporción de ingredientes, luego colar la solución de aleación obtenida después de la fundición en un lingote, triturar el lingote fundido, prensar estáticamente el polvo triturado para darle forma y luego sinterizarlo a alta temperatura para formar un material objetivo. La ventaja del material objetivo elaborado de esta manera es que la composición es uniforme; la desventaja es que la densidad es baja y el contenido de impurezas es alto. Las industrias de pulvimetalurgia de uso común incluyen el prensado en frío, el prensado en caliente al vacío y el prensado isostático en caliente.
Objetivos de pulverización catódica de tungsteno al 80 %
Objetivos de pulverización catódica al 80 % W
